本书力图从几类最新的传感器入手介绍新型微机电器件及系统。全书共分七章, 主要内容包括: 近年来微机电系统的发展、MEMS惯性器件及系统、回音壁模式微腔器件及系统、典型水声传感器件及系统、典型高温压力传感器件及系统、量子传感器件及系统、柔性传感器件及系统。
本书内容新颖, 技术先进, 涉及领域广泛, 具有比较高的参考价值。本书可供仪器仪表、精密机械、传感器、电子等相关专业的高年级本科生、研究生或相关专业技术人员参考和使用。