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硅集成电路工艺基础（第二版）

硅集成电路工艺基础（第二版）

定　　价：52 元

丛书名：21世纪微电子学专业规划教材

  • 作者：关旭东
  • 出版时间：2014/5/1
  • ISBN：9787301241097
  • 出 版 社：北京大学出版社
  • 中图法分类：TN4 
  • 页码：408
  • 纸张：胶版纸
  • 版次：2
  • 开本：16K
  • 字数：(单位：千字)
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   本书是《硅集成电路工艺基础》的第二版教材，作者在第一版的基础上系统的讲述了硅集成电路制造的基础工艺，加深了工艺物理基础和基本原理的介绍。增加了工艺集成例子的介绍。
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