本书根据半导体技术的发展趋势，主要介绍了常用的半导体微系统制造工艺，并加入了部分超大规模集成电路工艺。本书在半导体微系统制造工艺的基础上主要介绍了MEMS及微系统常用材料、硅的各向同性腐蚀、阳极腐蚀、硅的各向异性腐蚀、电钝化腐蚀、自停止腐蚀技术、非晶薄膜的腐蚀与表面微加工、静电键合技术、硅热键合技术、超大规模集成电路工

本书为满足地方高校电气信息类专业《电磁场与电磁波》的教学要求而编写。在充分保证该课程与相关课程衔接的前提下，对教学内容作了必要的优化，以减少重复，去掉了导行电磁波和电磁波的辐射。主要内容有：矢量分析、静电场与恒定电场、恒定磁场、静态场边值问题的解法、时变电磁场、交变电磁场、平面波电磁波及电磁辐射与天线内容。本书注重基本

本书内容包括：波函数和薛定谔方程；一维问题；量子力学中的力学量算符；表象理论；原子中的电子；自旋与全同粒子体系的波函数等。

本书内容包括电学、磁学、光学和现代物理基础，另有小篇幅阅读材料供学员选读，如静电危害、超级电容器、超导应用、电磁炮、潜艇隐身、飞机隐身与反隐身技术、军用光学技术、光学信息处理、红外技术在军事方面的应用等。

本书共有40个实验内容。绪论部分主要介绍物理实验的特点、物理实验的地位和作用、物理实验课的目的与任务、物理实验的基本程序和要求，并且给出了物理实验成绩评定的积分标准。第一部分比较系统地介绍物理实验的基本知识（不确定度与数据处理）、基本实验方法及常用实验仪器；第二部分选编5个基本测量实验；第三部分选编16个技术性实验；第

全书共分八章：测量误差和数据处理基本知识、力学实验、热学实验、电磁学实验、光学实验、近代物理及综合性和应用性物理实验、设计性实验、基本实验方法与测量方法。每个实验简要介绍了实验原理、实验仪器装置，实验内容附有思考题，为教学和学生学习提供了方便。本书较系统地介绍了大学物理实验中测量误差、不确定度及数据处理的基本知识，收入

本书是供少学时（60～65学时）的工、农、医、商、邮、交通和采矿等本科各专业大学物理学课程的教学用书。本书是参照教育部物理基础课程教育指导分委员会颁布的《理工科类大学物理课程教学基本要求》而编写的。主要内容有力学、电学、机械振动与机械波、波动光学、热力学和量子物理简介等，每章列有问题、习题，习题附有解答。全书在内容的深

本书是对大学物理是课程重新设置的一个尝试，它突破了基础物理课程以“编年史”介绍的教学模式，采用了一个全新的教学理念来讲授物理学，即按照物理学发展过程中不可替代的六个重大物理思想来介绍物理学，突出了物理学的骨架，这种做法适应目前物理学科的发展，可以解决由于物理学学科的发展引起的知识量剧增和物理教育在选择教学内容时无从下手

本书是对大学物理是课程重新设置的一个尝试，它突破了基础物理课程以“编年史”介绍的教学模式，采用了一个全新的教学理念来讲授物理学，即按照物理学发展过程中不可替代的六个重大物理思想来介绍物理学，突出了物理学的骨架，这种做法适应目前物理学科的发展，可以解决由于物理学学科的发展引起的知识量剧增和物理教育在选择教学内容时无从下手

本书是对大学物理是课程重新设置的一个尝试，它突破了基础物理课程以“编年史”介绍的教学模式，采用了一个全新的教学理念来讲授物理学，即按照物理学发展过程中不可替代的六个重大物理思想来介绍物理学，突出了物理学的骨架，这种做法适应目前物理学科的发展，可以解决由于物理学学科的发展引起的知识量剧增和物理教育在选择教学内容时无从下手